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MEB

Microscope Electronique à Balayage

Description de l’instrument :
Le microscope électronique de paillasse Phenom X Pro est équipé d’une caméra numérique, d’un détecteur d’électrons rétrodiffusés, d’une micro-sonde EDS, et de 2 porte-échantillons. 3 tensions d’accélération sont disponibles (5, 10 et 15 keV).

  • Grandissement optique : x20 – x120.
  • Grandissement e- : x80 – x45 000.
  • Résolution électronique : 25 nm
  • Diamètre de la chambre : 3 cm
  • Temps d’introduction : < 1 min.

L’utilisation du porte échantillon « vide dégradé » permet de travailler sur des échantillons semi-isolants ou isolants, en s’affranchissant de la majorité des effets de charge. La métallisation des échantillons isolants n’est donc pas forcément indispensable (au prix d’un compromis sur la résolution électronique).

L’utilisation du porte-échantillon « haute résolution » permet d’atteindre la résolution nominale de l’appareil, mais nécessite le dépôt d’une couche conductrice à la surface des échantillons isolants. A cette fin, le laboratoire dispose de métalliseurs AU/Pd et C.

Principe de l’analyse :
Un faisceau électronique très fin balaye la surface de l’échantillon, produisant différentes interactions électron – matière, qui induisent la réémission d’un cortège de particules collectées par différents détecteurs.

Le Phenom X Pro ne contient qu’un détecteur d’électrons rétrodiffusés, qui est principalement sensible au contraste de poids atomique, et permet ainsi de reconstruire une image en contraste chimique de l’échantillon. Ce détecteur permet aussi de travailler en contraste de topographie.

Le détecteur EDS permet de mesurer l’énergie des photons X émis lors de la désexcitation des atomes, ce qui permet de réaliser des analyses élémentaires semi-quantitatives (précision de l’ordre du %, selon l’abondance) en analyses ponctuelles localisées (taille du spot de 1 à 3 µm), en transects ou en cartographies 2D.

Analyses réalisées sur l’instrument :
De part le temps d’introduction très court de l’échantillon, les dimensions de la chambre électronique, et la co-localisation entre l’image optique et l’image électronique, ce microscope est particulièrement adapté à la caractérisation rapide de nombreux échantillons de tailles moyennes.

Contacts
Julius NOUET – 01 69 15 61 21 – julius.nouet@u-psud.fr (responsable scientifique et technique)

 

observation d’oolithes et de ciments de blocage calcitiques intergranulaires

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