MEB LEO 1530 (canon à effet de champ) équipé d’une colonne FIB (Focus Ions Beam, Faisceau Ionique Focalisé) Orsay Physics. La largeur de faisceau est de l’ordre de 15 nm. L’énergie du faisceau ionique (Ga+) est habituellement de 30keV. L’originalité du système est de pouvoir utiliser des éléments autres que le Ga pour nano-structurer les échantillons.
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Université Paris Sud (Paris Sud)
CSNSM
Nom : CENTRE DE SPECTROMÉTRIE NUCLÉAIRE ET DE SPECTROMÉTRIE DE MASSE
Portail réalisé en 2013 par des
apprentis
en informatique de Polytech Paris-Sud
Refonte agile du portail en 2014, puis 2015 par Samy GHRIBI, étudiant à Centrale Paris.